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声学研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [1]
2011 [1]
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专题:声学研究所
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微机械(MEMS)光纤加速度传感器系统研究
学位论文
OAI收割
博士, 2012
作者:
索智群
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提交时间:2015/10/15
基于MEMS技术的单晶硅加速度传感器研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院声学研究所, 2011
作者:
何庆
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提交时间:2018/12/29
差分电容MEMS加速度传感器仿真模型
期刊论文
OAI收割
声学技术, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 356-358
作者:
孙泉
;
齐敏
;
汤亮
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提交时间:2021/10/18