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微机械(MEMS)光纤加速度传感器系统研究 学位论文  OAI收割
博士, 2012
作者:  
索智群
收藏  |  浏览/下载:40/0  |  提交时间:2015/10/15
基于MEMS技术的单晶硅加速度传感器研究 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院声学研究所, 2011
作者:  
何庆
  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2018/12/29
差分电容MEMS加速度传感器仿真模型 期刊论文  OAI收割
声学技术, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 356-358
作者:  
孙泉;  齐敏;  汤亮
  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2021/10/18