机构

• 光电技术研究所 [1]
• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2020 [2]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2020     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Intensity modulation based optical proximity optimization for the maskless lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICS EXPRESS, 2020, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 548-557 作者:  Liu, Jianghui;  Liu, Junbo;  Deng, Qingyuan;  Feng, Jinhua;  Zhou, Shaolin   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2021/05/11 Nanofabrication of 50 nm zone plates through e-beam lithography with local proximity effect correction for x-ray imaging 期刊论文  OAI收割 CHINESE PHYSICS B, 2020, 卷号: 29, 期号: 4, 页码: - 作者:  Zhu, JY;  Zhang, SC;  Xie, SS;  Xu, C;  Zhang, LJ   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2021/09/06