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• 上海光学精密机械研究... [3]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 学位论文 [4]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [1]
• 2013 [1]
• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  杨朝兴 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻  分辨率增强技术  光源掩模优化  遗传算法   倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  何骏 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻  仿真模型  MEMS  衍射  掩模优化   倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者:  何凯 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻  仿真模型  MEMS  衍射   偏离标准条件的OPC 模型以及OPC 相关的验证方法 学位论文  OAI收割 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 陆梅君 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2012/03/06 光学邻近效应修正  偏离标准条件  制程窗口  光刻规则检查  设计规则