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上海光学精密机械研究... [3]
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OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
学科主题
光学工程 [3]
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共3条,第1-3条
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学科主题:光学工程
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
OAI收割
作者:
郑亚忠
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术
学位论文
OAI收割
作者:
董冠极
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提交时间:2018/12/26
光学检测
Optical Measurement
像差
Aberration
泽尼克多项式
Zernike polynomials
点衍射干涉
Point-diffraction
光栅尺关键技术研究
学位论文
OAI收割
作者:
卢炎聪
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提交时间:2018/12/26
光栅干涉仪
grating interferometer
标尺光栅
grating scale
光学细分
optical subdivision
信号探测
signal acquisition
位移测量
displacement measurement