机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]

学科主题

• Chaos theo... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Chaos theory - Controllers - Equipment - Experiments - Iterative methods - Optical instruments - Scanning - Synchronization     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Iterative learning control for synchronization of reticle stage and wafer stage in step-and-scan lithographic equipment 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging 2013: Micro/Nano Optical Imaging Technologies and Applications, 2013 作者:  Li, Lan-Lan;  Hu, Song 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/24