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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2004 [1]
学科主题
Instrument... [1]
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共1条,第1-1条
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Preferred crystal orientation of hafnium films prepared by ion beam assisted deposition
期刊论文
OAI收割
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2004, 卷号: 215, 期号: 3-4, 页码: 413-418
Jiang, BY
;
Ren, CX
;
Zheng, ZH
;
Liu, XH
;
Fan, HM
;
Yao, LC
;
Li, YT
;
Su, XB
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提交时间:2012/03/24
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