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半导体研究所 [10]
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OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [10]
发表日期
2021 [2]
2020 [1]
2019 [3]
2017 [1]
2016 [1]
2012 [2]
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学科主题
半导体物理 [4]
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专题:半导体研究所
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A Novel High-Q Dual-Mass MEMS Tuning Fork Gyroscope Based on 3D Wafer-Level Packaging
期刊论文
OAI收割
SENSORS, 2021, 卷号: 21, 期号: 19, 页码: 6428
作者:
Xu, Pengfei
;
Si, Chaowei
;
He, Yurong
;
Wei, Zhenyu
;
Jia, Lu
;
Han, Guowei
;
Ning, Jin
;
Yang, Fuhua
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提交时间:2022/05/09
A Novel Fabrication Method for a Capacitive MEMS Accelerometer Based on Glass-Silicon Composite Wafers
期刊论文
OAI收割
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: 102
作者:
He, Yurong
;
Si, Chaowei
;
Han, Guowei
;
Zhao, Yongmei
;
Ning, Jin
;
Yang, Fuhua
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提交时间:2022/11/03
Piezoelectric–Piezoresistive Coupling MEMS Sensors for Measurement of Electric Fields of Broad Bandwidth and Large Dynamic Range
期刊论文
OAI收割
IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2020, 卷号: 67, 期号: 1, 页码: 551-559
作者:
Fen Xue
;
Jun Hu
;
Yue Guo
;
Guowei Han
;
Yong Ouyang
;
Shan X. Wang
;
Jinliang He
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提交时间:2021/12/20
A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer
期刊论文
OAI收割
Micromachines, 2019, 卷号: 10, 期号: 9, 页码: 589
作者:
Jian Yang
;
Meng Zhang
;
Yurong He
;
Yan Su
;
Guowei Han
;
Chaowei Si
;
Jin Ning
;
Fuhua Yang
;
Xiaodong Wang
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提交时间:2020/08/05
Research on a 3D Encapsulation Technique for Capacitive MEMS Sensors Based on Through Silicon Via
期刊论文
OAI收割
Sensors, 2019, 卷号: 19, 页码: 93
作者:
Meng Zhang
;
Jian Yang
;
Yurong He
;
Fan Yang
;
Fuhua Yang
;
Guowei Han
;
Chaowei Si
;
Jin Ning
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提交时间:2020/08/05
Research on the Protrusions Near Silicon-Glass Interface during Cavity Fabrication
期刊论文
OAI收割
Micromachines, 2019, 卷号: 10, 页码: 420
作者:
Meng Zhang
;
Jian Yang
;
Yurong He
;
Fan Yang
;
Yongmei Zhao
;
Fen Xue
;
Guowei Han
;
Chaowei Si
;
Jin Ning
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提交时间:2020/08/05
Spectral shape of one-photon luminescence from single gold nanorods
期刊论文
OAI收割
AIP ADVANCES, 2017, 卷号: 7, 页码: 125106
作者:
Te Wen
;
Yingbo He
;
Xue-Lu Liu
;
Miao-Ling Lin
;
Yuqing Cheng
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提交时间:2018/06/15
InAs homoepitaxy and InAs/AlSb/GaSb resonant interband tunneling diodes on InAs substrate
期刊论文
OAI收割
journal of crystal growth, 2016, 卷号: 443, 页码: 85-89
Wei Xiang
;
Guowei Wang
;
Hongyue Hao
;
Yongping Liao
;
Xi Han
;
Lichun Zhang
;
Yingqiang Xu
;
Zhengwei Ren
;
Haiqiao Ni
;
Zhenhong He
;
Zhichuan Niu
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提交时间:2017/03/16
Enhanced tunneling in the GaAs p+-n+junction by embedding InAs quantum dots
期刊论文
OAI收割
semiconductor science and technology, Semiconductor Science and Technology, 2012, 2012, 卷号: 27, 27, 期号: 11, 页码: 115010, 115010
作者:
Wang, Lijuan
;
He, Jifang
;
Shang, Xiangjun
;
Li, Mifeng
;
Yu, Ying
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提交时间:2013/04/19
Enhanced tunneling in the GaAs p(+)-n(+) junction by embedding InAs quantum dots
期刊论文
OAI收割
semiconductor science and technology, SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2012, 2012, 卷号: 27, 27, 期号: 11, 页码: 115010, 115010
作者:
Wang LJ (Wang, Lijuan)
;
He JF (He, Jifang)
;
Shang XJ (Shang, Xiangjun)
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提交时间:2013/03/26