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  • 微电子研究所 [4]
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悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利  OAI收割
专利号: CN201610797210.7, 申请日期: 2018-06-29, 公开日期: 2017-01-04
作者:  
陈大鹏;  刘卫兵;  明安杰;  谭秋林;  任耀辉
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面向 MEMS 红外光源的高辐射率纳米硅结构制备 期刊论文  OAI收割
仪表技术与传感器, 2017
作者:  
明安杰;  谭秋林;  刘卫兵;  熊继军;  王玮冰
  |  收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2018/05/14
面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2017
作者:  
刘卫兵;  熊继军;  王玮冰;  毛海央;  孙西龙
  |  收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2018/05/14
悬浮结构的MEMS红外光源 专利  OAI收割
专利号: CN201621032847.9, 申请日期: 2017-03-15,
作者:  
王玮冰;  陈大鹏;  任耀辉;  刘卫兵;  明安杰
  |  收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2018/02/05