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机构
半导体研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2020 [2]
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氮化物半导体材料与器件微观应力机理与调控研究
学位论文
OAI收割
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
姚威振
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提交时间:2020/09/22
Analysis of growth rate and crystal quality of AlN epilayers by flow-modulated metal organic chemical vapor deposition
期刊论文
OAI收割
SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES, 2020, 卷号: 137, 页码: 106336
作者:
Fangzheng Li
;
Lianshan Wang
;
Weizhen Yao
;
Yulin Meng
;
Shaoyan Yang
;
Zhanguo Wang
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提交时间:2021/12/16