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上海光学精密机械研究... [7]
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OAI收割 [7]
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专利 [7]
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共7条,第1-7条
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波片相位延迟量与快轴方位...
专利
OAI收割
专利号: ZL2012100747..., 公开日期: 2015-03-25
作者:
曾爱军
;
朱玲琳
;
李凡月
;
...
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提交时间:2018/12/28
光刻照明系统
专利
OAI收割
专利号: ZL2013100305..., 公开日期: 2015-02-18
作者:
曾爱军
;
朱玲琳
;
方瑞芳
;
...
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提交时间:2018/12/28
相位延迟量分布和快轴方位...
专利
OAI收割
专利号: ZL2012101994..., 公开日期: 2015-05-13
作者:
曾爱军
;
刘龙海
;
朱玲琳
;
...
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提交时间:2018/12/28
光刻照明模式产生装置
专利
OAI收割
专利号: ZL2013100925..., 公开日期: 2014-11-26
作者:
朱玲琳
;
张善华
;
曾爱军
;
...
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提交时间:2018/12/28
激光脉冲拉伸装置
专利
OAI收割
专利号: ZL2013103712..., 公开日期: 2015-09-16
作者:
王莹
;
曾爱军
;
朱玲琳
;
...
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提交时间:2018/12/28
双平板偏振移相剪切干涉仪
专利
OAI收割
专利号: ZL2013103466..., 公开日期: 2015-10-28
作者:
曾爱军
;
刘蕾
;
朱玲琳
;
...
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提交时间:2018/12/28
空间移相横向剪切干涉仪
专利
OAI收割
专利号: ZL2013101672..., 公开日期: 2015-05-13
作者:
曾爱军
;
刘蕾
;
朱玲琳
;
...
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提交时间:2018/12/28