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机构
力学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [1]
学科主题
力学 [1]
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浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
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学科主题:力学
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真空辐射加热基片的温度分布
期刊论文
OAI收割
力学与实践, 2006, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 19-23
作者:
李帅辉
;
舒勇华
;
唐锦荣
;
樊菁
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提交时间:2007/06/15
薄膜气相沉积
真空辐射加热
基片温度分布