机构

• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1994 [1]

学科主题

• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：半导体材料     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 W/Si,WSi2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性 期刊论文  OAI收割 科学通报, 1994, 卷号: 39, 期号: 7, 页码: 594 刘文汉; 周凌云; 伍历文; 张裕恒; 许振嘉 收藏  |