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上海光学精密机械研究... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2007 [1]
2005 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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专题:上海光学精密机械研究所
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A novel method for measuring the coma of a lithographic projection system by use of mirror-symmetry marks
期刊论文
OAI收割
opt. laser technol., 2007, 卷号: 39, 期号: 5, 页码: 922, 925
Zhang Dongqing
;
王向朝
;
Shi Weijie
;
Wang Fan
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浏览/下载:1497/502
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提交时间:2009/09/18
coma
projection system
lithographic tool
A novel method to determine the FOCAL energy range
期刊论文
OAI收割
chin. opt. lett., 2005, 卷号: 3, 期号: 10, 页码: 589, 592
Dongqing Zhang
;
王向朝
;
Weijie Shi
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浏览/下载:1297/250
  |  
提交时间:2009/09/18
diffraction and gratings
focal-plane-array image processors
instrumentation
measurement
and metrology
optical devices
Flexible Pupil Correction Technology for Photolithography Machine
期刊论文
OAI收割
SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827
作者:
Zhu Siyu
;
Niu Zhiyuan
;
Zhang Fang
;
Ma Xiaozhe
;
Zeng Zongshun
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2018/12/25
An Excellent Performance Optical System for Freeform Pupil Illumination Module in Immersion Photolithography Machine
期刊论文
OAI收割
SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827
作者:
Zeng Zongshun
;
Niu Zhiyuan
;
Zhang Fang
;
Ma Xiaozhe
;
Zhu Siyu
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提交时间:2018/12/25