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上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2019 [1]
学科主题
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共1条,第1-1条
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退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构和应力特性的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2019, 卷号: 68, 期号: 11, 页码: 166-172
作者:
刘保剑
;
段微波
;
李大琪
;
余德明
;
陈刚
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提交时间:2019/11/13
光学薄膜
Ta2O5/SiO2多层反射膜
退火
应力特性