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总剂量辐射对65 nm NMOSFET热载流子敏感参数的影响

文献类型:期刊论文

作者苏丹丹; 周航; 郑齐文; 崔江维; 孙静; 马腾; 魏莹; 余学峰; 郭旗
刊名微电子学
出版日期2018
卷号48期号:1页码:126-130
关键词65 Nm Nmosfet 总剂量效应 热载流子效应
ISSN号1004-3365
DOI10.13911/j.cnki.1004-3365.170138
CSCD记录号CSCD:6177471
源URL[http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/5249]  
专题新疆理化技术研究所_中国科学院特殊环境功能材料与器件重点试验室
新疆理化技术研究所_材料物理与化学研究室
作者单位1.中国科学院新疆理化技术研究所新疆电子信息材料与器件重点实验室
2.中国科学院大学材料科学与光电技术学院
推荐引用方式
GB/T 7714
苏丹丹,周航,郑齐文,等. 总剂量辐射对65 nm NMOSFET热载流子敏感参数的影响[J]. 微电子学,2018,48(1):126-130.
APA 苏丹丹.,周航.,郑齐文.,崔江维.,孙静.,...&郭旗.(2018).总剂量辐射对65 nm NMOSFET热载流子敏感参数的影响.微电子学,48(1),126-130.
MLA 苏丹丹,et al."总剂量辐射对65 nm NMOSFET热载流子敏感参数的影响".微电子学 48.1(2018):126-130.

入库方式: OAI收割

来源:新疆理化技术研究所

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