碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 于鹏 ; 于海波; 田孝军; 董再励
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| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 29期号:S页码:103-106 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 关键词 | 碳纳米管 介电泳 装配 场效应晶体管 |
| 其他题名 | A Method Study on Automated Assembly of Carbon Nanotube Field Effect Transistor |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 自碳纳米管(Carbon nanotube,CNT)被发明以来,研究者就对CNT所表现出来的优异的物理、化学以及电学特性产生了浓厚的兴趣。近年来,CNT基纳米器件的研究取得了重要进展。特别是利用半导体性CNT制造的碳纳米管场效应晶体管(Carbon nanotube field effect transistor,CNT-FET),在化学传感器以及生物传感器等领域表现出了巨大的应用潜力。为此,本文首先介绍了目前CNT-FET制造方法的研究现状。对基于介电泳(Dielectrophoresis,DEP)的CNT-FET制造方法进行了系统分析,构建了基于DEP方法可实现碳纳米管场效应晶体管的自动化装配的微滴定实验系统。本文进行的CNT-FET装配实验,证明了该系统的有效性。 |
| 学科主题 | 机器人控制 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/2541]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 通讯作者 | 于海波 |
| 作者单位 | 1.中国科学院研究生院 2.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室沈阳 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于鹏,于海波,田孝军,等. 碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究[J]. 仪器仪表学报,2008,29(S):103-106. |
| APA | 于鹏,于海波,田孝军,&董再励.(2008).碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究.仪器仪表学报,29(S),103-106. |
| MLA | 于鹏,et al."碳纳米管场效应晶体管的自动化装配方法研究".仪器仪表学报 29.S(2008):103-106. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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