基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈浩然; 缪磊 ; 董再励; 李文荣; 王越超
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| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 34期号:6页码:691-695 |
| 关键词 | 微机电系统 Sml算法 深度估计 |
| ISSN号 | 1007-2276 |
| 其他题名 | Displacement measurement of a thermally actuated polymer micro robotic gripper using the optical focus method |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 随着微机电系统(MEMS)设计日趋成熟,度量问题越来越成为微系统技术中的热点。使用改进的拉普拉斯求和方法(SML)和深度估计法来测量热度驱动微夹持器末端的弯曲程度。实验中,使用了10幅在42℃时微夹持器的水下工作图像来验证这种光学聚焦方法,结果证明使用光学聚焦方法可以测量出作为驱动器反馈输入的末端弯曲大小,实现对驱动器运动的精确控制。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2204174 |
| 资助机构 | 国家863计划资助项目(2002AA431620) |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/2851]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 通讯作者 | 缪磊 |
| 作者单位 | 1.香港中文大学微纳米技术中心 2.中国科学院研究生院 3.中国科学院沈阳自动化所机器人学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈浩然,缪磊,董再励,等. 基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量[J]. 红外与激光工程,2005,34(6):691-695. |
| APA | 陈浩然,缪磊,董再励,李文荣,&王越超.(2005).基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量.红外与激光工程,34(6),691-695. |
| MLA | 陈浩然,et al."基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量".红外与激光工程 34.6(2005):691-695. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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