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半导体设备控制中SEMI标准模型研究

文献类型:期刊论文

作者于海斌; 刘明哲; 徐皑冬
刊名仪器仪表学报
出版日期2008
卷号29期号:S页码:687-690
关键词集成电路 电路制造 电路工艺 半导体设备
ISSN号0254-3087
产权排序1
英文摘要半导体集成电路的生产制造向300mm晶圆的方向发展,对半导体设备的工艺控制、物料传输,设备管理和生产调度都有着更进一步的需求。本文通过分析了半导体制造流程和控制要求,综述了半导体设备控制中的SEMI标准模型,并探讨了这一领域进一步研究的发展方向。
语种中文
公开日期2010-11-29
源URL[http://210.72.131.170//handle/173321/4875]  
专题沈阳自动化研究所_工业信息学研究室_工业控制系统研究室
通讯作者刘明哲
作者单位中国科学院沈阳自动化研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
于海斌,刘明哲,徐皑冬. 半导体设备控制中SEMI标准模型研究[J]. 仪器仪表学报,2008,29(S):687-690.
APA 于海斌,刘明哲,&徐皑冬.(2008).半导体设备控制中SEMI标准模型研究.仪器仪表学报,29(S),687-690.
MLA 于海斌,et al."半导体设备控制中SEMI标准模型研究".仪器仪表学报 29.S(2008):687-690.

入库方式: OAI收割

来源:沈阳自动化研究所

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