半导体设备控制中SEMI标准模型研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 于海斌 ; 刘明哲; 徐皑冬
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| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 29期号:S页码:687-690 |
| 关键词 | 集成电路 电路制造 电路工艺 半导体设备 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 半导体集成电路的生产制造向300mm晶圆的方向发展,对半导体设备的工艺控制、物料传输,设备管理和生产调度都有着更进一步的需求。本文通过分析了半导体制造流程和控制要求,综述了半导体设备控制中的SEMI标准模型,并探讨了这一领域进一步研究的发展方向。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/4875]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室_工业控制系统研究室 |
| 通讯作者 | 刘明哲 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于海斌,刘明哲,徐皑冬. 半导体设备控制中SEMI标准模型研究[J]. 仪器仪表学报,2008,29(S):687-690. |
| APA | 于海斌,刘明哲,&徐皑冬.(2008).半导体设备控制中SEMI标准模型研究.仪器仪表学报,29(S),687-690. |
| MLA | 于海斌,et al."半导体设备控制中SEMI标准模型研究".仪器仪表学报 29.S(2008):687-690. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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