基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡静涛 ; 石泽兴
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| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 29期号:S页码:278-282 |
| 关键词 | Ic集束装备 晶圆加工 Vrml Petri网 仿真 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 其他题名 | VRML based virtual cluster tools modelling and simulation |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 通过分析,针对IC集束装备制造系统的组成结构、加工流程和生产方式的特点,在准确描述了晶圆加工过程的细节后,利用Petri网为工具对该系统建立了模型。并以该模型为基础,借助于VRML技术,建立了虚拟IC集束装备。该软件平台能够真实的在现晶圆加工的过程。借助于该软件平台,不仅可以进行复杂的IC集束装备控制器的控制与调度算法的验证,分析比较不同算法的优劣,而且为进一步的制造真实的IC集束装备打下了良好的基础。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/4877]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室_工业控制系统研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡静涛,石泽兴. 基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真[J]. 仪器仪表学报,2008,29(S):278-282. |
| APA | 胡静涛,&石泽兴.(2008).基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真.仪器仪表学报,29(S),278-282. |
| MLA | 胡静涛,et al."基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真".仪器仪表学报 29.S(2008):278-282. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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