基于启发式搜索的半导体集束设备调度
文献类型：期刊论文
| 作者 | 耿沿锋; 康凯; 王宏 |
| 刊名 | 仪器仪表学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 28期号:S页码:545-548 |
| 关键词 | 集束设备 调度 启式搜索 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 其他题名 | Manufacturing schedule of cluster tools based on heuristic search |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 集束设备是8英寸以上晶圆加工的重要设备,其独特的物理结构以及特殊的半导体工艺使其调度不同于一般 Job Shop 调度问题。本文针对一种双臂机器手、在各加工单元内驻留时间受限、可重进加工类型的集束设备,在分析其调度的独特性和复杂性基础上,提出了基于启发式搜索的解决方法,并通过实例分析了算法的性能,最后总结了算法的可行性和扩展性。 |
| 学科主题 | 自动控制技术 |
| 语种 | 中文 |
| 资助机构 | 辽宁省通信与控制重点实验室资助项目国家“863”计划基金(2006AA03A141) |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/5009]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室_工业控制系统研究室 |
| 通讯作者 | 耿沿锋 |
| 作者单位 | 1.中国科学院沈阳自动化研究所 2.中国科学院研究生院 3.沈阳中科博微自动化技术有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 耿沿锋,康凯,王宏. 基于启发式搜索的半导体集束设备调度[J]. 仪器仪表学报,2007,28(S):545-548. |
| APA | 耿沿锋,康凯,&王宏.(2007).基于启发式搜索的半导体集束设备调度.仪器仪表学报,28(S),545-548. |
| MLA | 耿沿锋,et al."基于启发式搜索的半导体集束设备调度".仪器仪表学报 28.S(2007):545-548. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。