半导体装备控制系统公共IO服务接口研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 康凯; 刘明哲 ; 徐皑冬
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| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 28期号:S页码:752-754 |
| 关键词 | 公共io服务 半导体装备 现场总线 控制系统 接口 通信标准 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 半导体装备控制系统中，不同技术、多种通信标准的输入、输出控制方法共存，给控制系统的实现带来很大的麻烦.本文提出了一种基于统一架构的公共IO服务接口方法，为控制系统应用不必考虑具体通信技术细节而达到操作上的一致性提供一种思路。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/5023]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室_工业控制系统研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 康凯,刘明哲,徐皑冬. 半导体装备控制系统公共IO服务接口研究[J]. 仪器仪表学报,2007,28(S):752-754. |
| APA | 康凯,刘明哲,&徐皑冬.(2007).半导体装备控制系统公共IO服务接口研究.仪器仪表学报,28(S),752-754. |
| MLA | 康凯,et al."半导体装备控制系统公共IO服务接口研究".仪器仪表学报 28.S(2007):752-754. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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