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激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展

文献类型:期刊论文

作者张鹏1,2,3,4; 郑黎明1,2,3; 齐立峰1,2,3; 田雪咏5; 汪为1,2,3,4; 孙兰香1,2,3
刊名分析化学
出版日期2018
卷号46期号:10页码:1518-1527
关键词激光诱导击穿光谱 微区分析 烧蚀弹坑 偏析 评述
ISSN号0253-3820
其他题名Progress in Research and Application of Micro-laser-induced Breakdown Spectroscopy
产权排序1
英文摘要

激光诱导击穿光谱微区分析通常是指利用紧聚焦激光束在微米尺度范围对样品表面进行分析的技术。相比于常规激光诱导击穿光谱分析,微区分析可以在更小范围、更少样品的情况下提供更加被分析样品丰富的形态、结构、含量信息,因而应用领域广泛。本文介绍了激光诱导击穿光谱微区分析在激光源选择以及光路系统结构方面的应用状况,综述了其在金属、半导体、动植物等领域的应用研究进展,讨论了目前存在的问题,对发展前景和发展方向进行了展望。

语种中文
CSCD记录号CSCD:6344435
资助机构国家重点研发计划项目(2017YFF0106202) ; 国家自然科学基金项目(61473279) ; 中国科学院前沿科学重点研究计划项目(QYZDJ-SSW-JSC037) ; 中国科学院青年创新促进会项目
源URL[http://ir.sia.cn/handle/173321/23340]  
专题沈阳自动化研究所_工业控制网络与系统研究室
通讯作者孙兰香
作者单位1.中国科学院机器人与智能制造创新研究院
2.中国科学院沈阳自动化研究所
3.中国科学院网络化控制系统重点实验室
4.中国科学院大学
5.新松机器人自动化股份有限公司中央研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
张鹏,郑黎明,齐立峰,等. 激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展[J]. 分析化学,2018,46(10):1518-1527.
APA 张鹏,郑黎明,齐立峰,田雪咏,汪为,&孙兰香.(2018).激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展.分析化学,46(10),1518-1527.
MLA 张鹏,et al."激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展".分析化学 46.10(2018):1518-1527.

入库方式: OAI收割

来源:沈阳自动化研究所

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