卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 池世春 ; 魏海波; 孙清; 张君薇
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| 刊名 | 真空
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 44期号:4页码:33-35 |
| 关键词 | 泡沫镍 磁控溅射 海绵 卷绕系统 |
| ISSN号 | 1002-0322 |
| 其他题名 | R&D of vaccum magnetron sputtering coating system for coiled sponge metallization |
| 产权排序 | 3 |
| 英文摘要 | 本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵连续卷绕真空磁控溅射镀膜。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/6401]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_装备制造技术研究室 |
| 通讯作者 | 魏海波 |
| 作者单位 | 1.辽宁装备制造职业技术学院 2.中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心 3.沈阳药科大学高等职业技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 池世春,魏海波,孙清,等. 卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制[J]. 真空,2007,44(4):33-35. |
| APA | 池世春,魏海波,孙清,&张君薇.(2007).卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制.真空,44(4),33-35. |
| MLA | 池世春,et al."卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制".真空 44.4(2007):33-35. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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