海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙清; 栾居里; 池世春 ; 魏海波
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| 刊名 | 真空
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 43期号:5页码:53-55 |
| 关键词 | 变频调速 张力控制 矢量控制 海绵卷绕系统 |
| ISSN号 | 1002-0322 |
| 其他题名 | Transfer motion control of sponge coil during vacuum magnetron sputtering film coating |
| 产权排序 | 3 |
| 英文摘要 | 根据磁控溅射中海绵的传动特性,建立了传动控制的数学模型,采用带有矢量的变频调速器实现了海绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制,满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/6419]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_装备制造技术研究室 |
| 通讯作者 | 孙清 |
| 作者单位 | 1.中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心 2.沈阳新北方玻璃有限公司 3.沈阳药科大学高等职业技术学院 4.沈阳职业技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙清,栾居里,池世春,等. 海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制[J]. 真空,2006,43(5):53-55. |
| APA | 孙清,栾居里,池世春,&魏海波.(2006).海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制.真空,43(5),53-55. |
| MLA | 孙清,et al."海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制".真空 43.5(2006):53-55. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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