海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的研制
文献类型：会议论文
| 作者 | 魏海波; 孙清; 张晶宇; 池世春
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| 出版日期 | 2006 |
| 会议日期 | 2006 |
| 会议地点 | 中国陕西西安 |
| 关键词 | 泡沫镍 磁控溅射 海绵 卷绕系统 |
| 其他题名 | Research and development of sponge coiling vacuum magnetron sputtering coating equipment |
| 英文摘要 | 本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜。 |
| 源文献作者 | 中国真空学会 |
| 产权排序 | 3 |
| 会议录 | 中国真空学会2006年学术会议论文摘要集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/6854]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_装备制造技术研究室 |
| 通讯作者 | 魏海波 |
| 作者单位 | 1.中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心 2.沈阳真空技术研究所 3.沈阳新北方玻璃有限公司 4.沈阳药科大学高等职业技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏海波,孙清,张晶宇,等. 海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的研制[C]. 见:. 中国陕西西安. 2006. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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