带运动补偿的高压馈入真空态装置
文献类型：专利
| 作者 | 马力祯 ; 张小奇
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| 发表日期 | 2011-11-21 |
| 专利号 | Zl200910166061.4 |
| 国家 | 中国 |
| 关键词 | 运动补偿 高压馈入 真空态装置 |
| 文献子类 | 发明 |
| 公开日期 | 2010-04-28 |
| 申请日期 | 2009-08-03 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://210.77.73.110/handle/113462/12438]  |
| 专题 | 近代物理研究所_技术条件室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马力祯,张小奇. 带运动补偿的高压馈入真空态装置. Zl200910166061.4. 2011-11-21. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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