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钝化前表面预处理对AlGaN/GaN HEMTs性能的影响

文献类型:期刊论文

作者李诚瞻; 刘丹; 郑英奎; 刘新宇; 刘键; 魏珂; 和致经
刊名半导体学报
出版日期2008
卷号29期号:2页码:5,329-333
关键词Algan/gan Hemts 钝化 表面预处理 初始氧化层
ISSN号0253-4177
英文摘要

提出一种新的钝化技术——采用盐酸和氢氟酸混合预处理溶液(HF:HCl:H2O=1:4:20)对AlGaN/GaNHEMTs进行表面预处理后再淀积Si3N4钝化,研究了新型钝化技术对AlGaN/GaNHEMTs性能的影响并分析其机理.与用常规方法钝化的器件相比,经过表面预处理再钝化,成功地抑制了AlGaN/GaNHEMTs肖特基特性的恶化,有效地增强抑制电流崩塌效应的能力,将GaN基HEMTs的输出功率密度提高到5.2W/mm,并展现良好的电学可靠性.通过X射线光电子谱(XPS)检测预处理前后的AlGaN表面,观察到经过预处理后的AlGaN表面氧元素的含量大幅度下降.表面氧元素的含量下降,能有效地降低表面态密度和表面电荷陷阱密度,被认为是提高AlGaN/GaNHEMTs性能的主要原因.

语种中文
公开日期2010-05-27
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1930]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李诚瞻,刘丹,郑英奎,等. 钝化前表面预处理对AlGaN/GaN HEMTs性能的影响[J]. 半导体学报,2008,29(2):5,329-333.
APA 李诚瞻.,刘丹.,郑英奎.,刘新宇.,刘键.,...&和致经.(2008).钝化前表面预处理对AlGaN/GaN HEMTs性能的影响.半导体学报,29(2),5,329-333.
MLA 李诚瞻,et al."钝化前表面预处理对AlGaN/GaN HEMTs性能的影响".半导体学报 29.2(2008):5,329-333.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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