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部分耗尽SOI NMOSFET总剂量辐照的最坏偏置

文献类型:期刊论文

作者刘梦新; 卜建辉; 胡爱斌; 韩郑生
刊名半导体技术
出版日期2009
卷号34期号:1页码:4,65-68
关键词绝缘体上硅 总剂量效 最坏偏置 部分耗尽 辐照
ISSN号1003-353X
英文摘要

通过模拟对ON、OFF、TG三种偏置下PD SOI NMOSFET的总剂量辐照效应进行了研究。模拟发现正沟道的最坏偏置是ON偏置,背沟道的最坏偏置与总剂量有关。当总剂量大时,背沟道的最坏偏置是OFF偏置;当总剂量小时则是TG偏置。而NMOSFET的最坏偏置则取决于起主要作用的是正栅还是背栅。由于辐照产生电子空穴对的过程与电场分布强相关,通过分析不同偏置下电场分布的差异确定最坏偏置的内在机制。

语种中文
公开日期2010-06-01
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/2128]  
专题微电子研究所_硅器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘梦新,卜建辉,胡爱斌,等. 部分耗尽SOI NMOSFET总剂量辐照的最坏偏置[J]. 半导体技术,2009,34(1):4,65-68.
APA 刘梦新,卜建辉,胡爱斌,&韩郑生.(2009).部分耗尽SOI NMOSFET总剂量辐照的最坏偏置.半导体技术,34(1),4,65-68.
MLA 刘梦新,et al."部分耗尽SOI NMOSFET总剂量辐照的最坏偏置".半导体技术 34.1(2009):4,65-68.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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