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一种霍尔基片结构及霍尔传感器

文献类型:专利

作者陆江; 刘海南; 卜建辉; 张国欢; 罗家俊
发表日期2018-07-17
专利号CN201721830326.2
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类实用新型
英文摘要

本申请实施例提供的一种霍尔基片结构及霍尔传感器,涉及半导体器件技术领域,所述锁存器包括:N阱;电极VHA,所述电极VHA设置在所述N阱上;电极VHB,所述电极VHB设置在所述N阱上;氧化层填充区,所述氧化层填充区设置在所述N阱上;其中,所述氧化层填充区的两侧分别为所述电极VHA和所述电极VHB。解决了现有技术使用增加P型掺杂提高灵敏度时,精度及工艺控制能力有限的问题,达到了保证对N阱区的挤压效果,形成的N阱尺寸精度高,易于控制的技术效果。

申请日期2017-12-22
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18590]  
专题微电子研究所_硅器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陆江,刘海南,卜建辉,等. 一种霍尔基片结构及霍尔传感器. CN201721830326.2. 2018-07-17.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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