一种霍尔基片结构及霍尔传感器
文献类型:专利
作者 | 陆江![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018-07-17 |
专利号 | CN201721830326.2 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 实用新型 |
英文摘要 | 本申请实施例提供的一种霍尔基片结构及霍尔传感器,涉及半导体器件技术领域,所述锁存器包括:N阱;电极VHA,所述电极VHA设置在所述N阱上;电极VHB,所述电极VHB设置在所述N阱上;氧化层填充区,所述氧化层填充区设置在所述N阱上;其中,所述氧化层填充区的两侧分别为所述电极VHA和所述电极VHB。解决了现有技术使用增加P型掺杂提高灵敏度时,精度及工艺控制能力有限的问题,达到了保证对N阱区的挤压效果,形成的N阱尺寸精度高,易于控制的技术效果。 |
申请日期 | 2017-12-22 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18590] ![]() |
专题 | 微电子研究所_硅器件与集成研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陆江,刘海南,卜建辉,等. 一种霍尔基片结构及霍尔传感器. CN201721830326.2. 2018-07-17. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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