中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
一种终端与有源区形成弱电连接的结构及其设计方法

文献类型:专利

作者褚为利; 朱阳军; 田晓丽; 赵佳
发表日期2018-06-15
专利号CN201310086213.6
著作权人 中国科学院微电子研究所 ;  上海联星电子有限公司 ;  江苏中科君芯科技有限公司
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供了一种终端与有源区形成弱电连接的结构,包括衬底结构、场限环结构、钝化层、基区结构、发射区结构、多晶硅栅结构、覆盖有源区的金属电极、通过氧化层开孔与主结和第一级场限环连接的金属电极、及与多晶硅栅结构连接的栅极电极,本发明提供的一种终端与有源区形成弱电连接的结构,是在传统终端结构的形成终端钝化层的基础上,在终端主结和第一级场限环之间刻蚀钝化层形成金属接触窗口,使得该位置与有源区的金属形成电学连接。本发明提供的一种终端与有源区形成弱电连接的结构,可以防止高压器件在动态过程中发生闩锁,同时可以保证器件在有源区和终端区的可靠性,降低器件在HTRB过程中的漏电流。

公开日期2014-06-04
申请日期2013-03-18
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18673]  
专题微电子研究所_硅器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
褚为利,朱阳军,田晓丽,等. 一种终端与有源区形成弱电连接的结构及其设计方法. CN201310086213.6. 2018-06-15.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。