一种终端与有源区形成弱电连接的结构及其设计方法
文献类型:专利
作者 | 褚为利; 朱阳军![]() ![]() |
发表日期 | 2018-06-15 |
专利号 | CN201310086213.6 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 ; 上海联星电子有限公司 ; 江苏中科君芯科技有限公司 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明提供了一种终端与有源区形成弱电连接的结构,包括衬底结构、场限环结构、钝化层、基区结构、发射区结构、多晶硅栅结构、覆盖有源区的金属电极、通过氧化层开孔与主结和第一级场限环连接的金属电极、及与多晶硅栅结构连接的栅极电极,本发明提供的一种终端与有源区形成弱电连接的结构,是在传统终端结构的形成终端钝化层的基础上,在终端主结和第一级场限环之间刻蚀钝化层形成金属接触窗口,使得该位置与有源区的金属形成电学连接。本发明提供的一种终端与有源区形成弱电连接的结构,可以防止高压器件在动态过程中发生闩锁,同时可以保证器件在有源区和终端区的可靠性,降低器件在HTRB过程中的漏电流。 |
公开日期 | 2014-06-04 |
申请日期 | 2013-03-18 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18673] ![]() |
专题 | 微电子研究所_硅器件与集成研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 褚为利,朱阳军,田晓丽,等. 一种终端与有源区形成弱电连接的结构及其设计方法. CN201310086213.6. 2018-06-15. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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