Radiation Effects on Al2O3 Thin Films
文献类型：会议论文
| 作者 | Zhu HP(朱慧平) ; Chen X(陈曦); Zheng ZS(郑中山); Li DL(李多力); Gao JT(高见头); Li B(李博); Luo JJ(罗家俊)
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| 出版日期 | 2018-10-21 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19118]  |
| 专题 | 微电子研究所_硅器件与集成研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhu HP,Chen X,Zheng ZS,et al. Radiation Effects on Al2O3 Thin Films[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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