一种组合等离子体放电装置
文献类型：专利
| 作者 | 赵玲利; 王守国; 张朝前; 杨景华 |
| 发表日期 | 2009-10-28 |
| 专利号 | CN201515547U |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成；该滚轴之间的放电位于该平板放电的两侧，具有多组滚轴之间的放电组。利用本实用新型，可产生不同的等离子体放电频率和强度，通过集成这些不同放电区域，可实现对材料表面的综合处理。 |
| 公开日期 | 2010-06-23 ; 2010-11-26 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8490]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵玲利,王守国,张朝前,等. 一种组合等离子体放电装置. CN201515547U. 2009-10-28. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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