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浏览/检索结果: 共430条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：微电子仪器设备研发中心    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 先进光刻机中调焦调平系统测量精度研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院大学, 2019 作者:  范伟   |  收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2019/09/04 基于硅表面纳米结构的表面增强拉曼检测芯片及应用研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院大学, 2019 作者:  刘丽花   |  收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2019/09/05 一种承片台 专利  OAI收割 专利号: CN201510520156.7, 申请日期: 2018-11-09, 公开日期: 2016-01-06 作者:  夏洋;  李楠;  陈波   |  收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2019/03/12 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利  OAI收割 专利号: CN201710575956.8, 申请日期: 2018-11-09, 公开日期: 2017-09-29 作者:  侯煜;  刘嵩;  张紫辰   |  收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2019/03/12 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利  OAI收割 专利号: CN201710574565.4, 申请日期: 2018-10-23, 公开日期: 2017-09-29 作者:  侯煜;  刘嵩;  张紫辰   |  收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2019/03/12 一种激光加工晶圆的控制方法及系统 专利  OAI收割 专利号: CN201710574394.5, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-10-10 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2019/03/12 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利  OAI收割 专利号: CN201710574908.7, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-09-29 作者:  侯煜;  刘嵩;  张紫辰   |  收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2019/03/12 一种激光加工晶圆的装置及方法 专利  OAI收割 专利号: CN201710575459.8, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-12-05 作者:  张紫辰;  侯煜;  刘嵩   |  收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2019/03/12 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利  OAI收割 专利号: CN201710575865.4, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-10-17 作者:  刘嵩;  侯煜;  张紫辰   |  收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2019/03/12 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利  OAI收割 专利号: CN201710574488.2, 申请日期: 2018-09-14, 公开日期: 2017-10-10 作者:  张紫辰;  侯煜   |  收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2019/03/12