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Oxygen Effects on a He/O-2 Plasma Jet at Atmospheric Pressure

文献类型:外文期刊

作者Wan, J; Wang, SG
发表日期2009
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/8956]  
专题微电子研究所_微电子仪器设备研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
Wan, J,Wang, SG. Oxygen Effects on a He/O-2 Plasma Jet at Atmospheric Pressure. 2009.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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