Surface Treatment of Flat Panel Display Substrates by a Uniform Large Area Glow Cold Plasma Tunnel at Atmospheric Pressure
文献类型：外文期刊
| 作者 | Wan, J; Jia, XH; Zhao, LL; Wang, S |
| 发表日期 | 2009 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8958]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wan, J,Jia, XH,Zhao, LL,et al. Surface Treatment of Flat Panel Display Substrates by a Uniform Large Area Glow Cold Plasma Tunnel at Atmospheric Pressure. 2009. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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