可二维微调的微型电动平移台
文献类型：专利
| 作者 | 夏洋; 吴文镜; 李国光; 艾迪格; 基尼欧; 马铁中 |
| 发表日期 | 2011-07-12 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及光学器件调整技术领域，具体涉及一种可二维微调的微型电动平移台。可二维微调的微型电动平移台由基板、导轨组件、滑板组件、驱动组件组成。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的单一位置精确平移定位以及多工位平移功能，同时可以对该光学器件进行二维的角度的手动微调，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的平移，方便产品集成开发。 |
| 公开日期 | 2012-11-20 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/10083]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏洋,吴文镜,李国光,等. 可二维微调的微型电动平移台. 2011-07-12. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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