一种微透镜阵列的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 吴茹菲; 刘键; 夏洋; 李勇滔 |
| 发表日期 | 2011-07-25 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种微透镜阵列的制备方法，具体涉及一种利用喷射点胶技术的微透镜阵列的制备方法。所述制备方法具体包括如下步骤：将衬底材料放置于喷射点胶设备工作台上；向所述喷射点胶设备中注入UV胶水，所述喷射点胶设备在衬底材料表面形成微型液滴阵列；将所述微型液滴阵列经紫外光照射固化，在所述衬底材料表面形成形状固定的凸点阵列；所述凸点阵列即为微透镜阵列。本发明利用喷射点胶技术制备微透镜阵列，该制备方法操作简单，周期短，效率高，制作成本低廉，更加适合大面积微透镜阵列的制备，且制得的微透镜阵列形状完整，性能良好。 |
| 公开日期 | 2012-11-20 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/10095]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴茹菲,刘键,夏洋,等. 一种微透镜阵列的制备方法. 2011-07-25. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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