原子层薄膜沉积系统
文献类型：专利
| 作者 | 夏洋; 李超波; 陈波; 万军; 吕树玲; 马舒 |
| 发表日期 | 2011-12-13 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 外观设计产品的用途是用于进行原子层薄膜沉积。 |
| 公开日期 | 2012-11-20 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/10233]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏洋,李超波,陈波,等. 原子层薄膜沉积系统. 2011-12-13. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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