原子层沉积技术研究及其应用进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 夏洋; 仇洪波; 刘邦武 |
| 刊名 | 微纳电子
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| 出版日期 | 2012-11-01 |
| 公开日期 | 2013-11-04 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/11559]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 通讯作者 | 刘邦武 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏洋,仇洪波,刘邦武. 原子层沉积技术研究及其应用进展[J]. 微纳电子,2012. |
| APA | 夏洋,仇洪波,&刘邦武.(2012).原子层沉积技术研究及其应用进展.微纳电子. |
| MLA | 夏洋,et al."原子层沉积技术研究及其应用进展".微纳电子 (2012). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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