The study of defect removal etching of black silicon
文献类型：期刊论文
| 作者 | Liu JH(刘金虎); Liu BW(刘邦武); Xiao G(肖高) |
| 刊名 | Materials Science in Semiconductor Processing
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| 出版日期 | 2014-11-07 |
| 公开日期 | 2015-04-22 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12662]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 通讯作者 | Liu BW(刘邦武) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu JH,Liu BW,Xiao G. The study of defect removal etching of black silicon[J]. Materials Science in Semiconductor Processing,2014. |
| APA | 刘金虎,刘邦武,&肖高.(2014).The study of defect removal etching of black silicon.Materials Science in Semiconductor Processing. |
| MLA | 刘金虎,et al."The study of defect removal etching of black silicon".Materials Science in Semiconductor Processing (2014). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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