AlO_x prepared by atomic layer deposition for high efficiency-type crystalline silicon solar cell
文献类型：期刊论文
| 作者 | Liu BW(刘邦武); Chou HB(仇洪波) |
| 刊名 | Chinese Physics B
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| 出版日期 | 2014-01-06 |
| 公开日期 | 2015-04-22 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12664]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 通讯作者 | Liu BW(刘邦武) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu BW,Chou HB. AlO_x prepared by atomic layer deposition for high efficiency-type crystalline silicon solar cell[J]. Chinese Physics B,2014. |
| APA | 刘邦武,&仇洪波.(2014).AlO_x prepared by atomic layer deposition for high efficiency-type crystalline silicon solar cell.Chinese Physics B. |
| MLA | 刘邦武,et al."AlO_x prepared by atomic layer deposition for high efficiency-type crystalline silicon solar cell".Chinese Physics B (2014). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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