Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhang YQ(张艳清); Lu WE(卢维尔); Dong YB(董亚斌); Li CB(李超波); Xia Y(夏洋); Li N(李楠) |
| 刊名 | Applied Surface Science
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| 出版日期 | 2014-02-24 |
| 公开日期 | 2015-04-22 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12672]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 通讯作者 | Li CB(李超波) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang YQ,Lu WE,Dong YB,et al. Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique[J]. Applied Surface Science,2014. |
| APA | 张艳清,卢维尔,董亚斌,李超波,夏洋,&李楠.(2014).Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique.Applied Surface Science. |
| MLA | 张艳清,et al."Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique".Applied Surface Science (2014). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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