一种真空腔内转动部件的定位装置
文献类型：专利
| 作者 | 王佳; 刘训春; 席峰; 夏洋 |
| 发表日期 | 2012-10-15 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种真空腔内转动部件的定位装置，属于微电子技术领域。所述装置包括：激光反射装置、密封部件、腔体外玻璃密封件和密封框架；激光反射装置位于反应室内，并与密封框架的顶端通过螺纹连接；密封框架由下向上装入反应室，并通过螺钉与反应室固定连接；腔体外玻璃密封件与密封框架的底端通过螺纹连接；反应室与密封框架连接之处设置有密封部件；腔体外玻璃密封件与密封框架底端连接之处设置有密封部件和玻璃。本发明的定位装置用于溅射台中，特别是在有污染和高温的真空环境下，可以实现高速转动部件的高精度定位，且装置结构简单、成本低廉、可操作性强、精度高及维护性好。 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/15528]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王佳,刘训春,席峰,等. 一种真空腔内转动部件的定位装置. 2012-10-15. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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