宽带偏振光谱仪和光学测量系统
文献类型：专利
| 作者 | 王林梓; 吴文镜; 赵江艳; 刘涛; 李国光; 夏洋; 马铁中 |
| 发表日期 | 2011-12-27 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 ; 北京智朗芯光科技有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开一种宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元。本发明还公开了包含该宽带偏振光谱仪的光学测量系统。本发明提供的垂直入射宽带偏振光谱仪不仅可以通过简单的操作进行聚焦，而且可以精确地控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/15554]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王林梓,吴文镜,赵江艳,等. 宽带偏振光谱仪和光学测量系统. 2011-12-27. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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