一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 刘邦武; 王文东; 邵花; 李勇滔; 夏洋 |
| 发表日期 | 2011-12-02 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及Y2O3陶瓷涂层制造技术领域，具体涉及一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤(2)，将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理；步骤(3)，对待喷涂的基材表面进行预处理；步骤(4)，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出黑色Y2O3涂层。本发明将原始Y2O3粉末在二次造粒过程中经H2还原成黑色，再将其经等离子喷涂至基材，制备出黑色Y2O3陶瓷涂层，经本发明制备的黑色Y2O3陶瓷涂层具有耐刻蚀、耐脏的性能，且制造成本较低。 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/15562]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘邦武,王文东,邵花,等. 一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法. 2011-12-02. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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