利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置
文献类型：专利
| 作者 | 刘 涛; 李国光; 艾迪格.基尼欧; 马铁中; 夏 洋; 严晓浪 |
| 发表日期 | 2010-10-28 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 ; 北京智朗芯光科技有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明属于光学测量技术领域，更具体的涉及利用一个利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置，所述成像系统包括成像聚光单元、图像探测器以及第一可移动反射镜，其中，第一光束射向样品，第二光束经所述第一可移动反射镜入射到样品，从样品表面反射的光由所述成像聚光单元成像到所述图像探测器，所述第一可移动反射镜位于系统光路中或光路外，使得第一光束与第二光束重合或分离，通过调整第一可移动反射镜，实现测量点识别及定位、样品表面测量点与探测光束光斑位置校准以及测量。本发明完全不影响探测光路光通量、色差、像差和偏振等自身特征，可做到无重影成像，而且结构简单、成本低。 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/15948]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘 涛,李国光,艾迪格.基尼欧,等. 利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置. 2010-10-28. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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