一种微型光学器件平移机构
文献类型：专利
| 作者 | 吴文镜; 严晓浪; 夏洋; 马铁中; 艾迪格.基尼欧 |
| 发表日期 | 2010-09-06 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 ; 北京智朗芯光科技有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及光学器件调整技术领域，具体涉及一种微型光学器件平移机构，包括电机组件、导轨组件、光学组件、摇臂和连杆，所述导轨组件固定在电机组件上，所述摇臂一端与所述电机组件的输出轴相连接，另一端与所述连杆的一端相连接，所述连杆将所述摇臂与所述导轨组件连接，所述光学组件固定在所述导轨组件上。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的多工位平移功能，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的多工位平移。 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/15954]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴文镜,严晓浪,夏洋,等. 一种微型光学器件平移机构. 2010-09-06. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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