一种调焦调平传感器测量装置
文献类型：专利
| 作者 | 李世光; 王丹; 魏志国; 武志鹏; 孙裕文; 宗明成 |
| 发表日期 | 2014-07-31 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种调焦调平传感器测量装置，涉及测量技术领域，用于测量带有工艺的硅片的高度形貌，该装置包括可调谐光源、测试光栅、第一成像系统、第二成像系统、参考光栅、探测器、工件台和计算机。该装置能够对于待测硅片上涂覆某种光刻胶或者具有某种结构时，自动计算测量高度对所述光刻胶或结构不敏感的光源光谱，相应调整光源的频率和带宽，以及探测器的响应范围，使调焦调平传感器的高度测量工艺相关性最小。在光刻曝光时，工件台将根据硅片形貌实时调节它的高度和倾斜，保证曝光区域保持在光刻机的对焦范围内，达到调焦调平的目的。 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16489]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李世光,王丹,魏志国,等. 一种调焦调平传感器测量装置. 2014-07-31. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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