一种多角度旋转定位器
文献类型:专利
作者 | 赵江艳; 李国光; 叶龙茂; 吴文镜 |
发表日期 | 2012-07-31 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本发明公开了一种能够自动控制光学器件旋转角度的多角度旋转定位器,属于光学器件调整装置技术领域。该多角度旋转定位器包括基座、驱动组件、轴承、空心旋转体、第Ⅰ连杆和第Ⅱ连杆。该多角度旋转定位器体积紧凑、通光量大、定位准确、重复性高并且能够用于自动控制通光光学元件旋转。 |
源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16524] ![]() |
专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵江艳,李国光,叶龙茂,等. 一种多角度旋转定位器. 2012-07-31. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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