等离子体增强型原子层沉积系统原位掺杂改性纳米材料及其性能研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 饶志鹏 |
| 答辩日期 | 2013-05 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 夏洋 ; 刘键 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17194]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 饶志鹏. 等离子体增强型原子层沉积系统原位掺杂改性纳米材料及其性能研究[D]. 中国科学院大学. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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